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    講一講微流控芯片刻蝕過程相關注意事項

    發布時間:2022-05-23   點擊次數:38次
       微流控芯片是一種以在微納米尺度空間中對流體進行操控為主要特征的科學技術,具有將生物、化學等實驗室的基本功能諸如樣品制備、反應、分離和檢測等縮微到一個幾平方厘米芯片上的能力,其基本特征和優勢是多種單元技術在整體可控的微小平臺上靈活組合、規模集成。作為一種微全分析技術平臺可以應用于各個分析領域,如生化醫療診斷、食品和商品檢驗、環境監測、刑事科學、軍事科學和航天科學等重要應用領域,其中生物醫學分析是熱點。
      由于微流控芯片的構件尺寸和細胞吻合,并可同時測定物理量、化學量和生物量,它已成為對哺乳動物細胞及其微環境進行操控的最具潛力的平臺,可以用于仿生實驗室。目前已可以構建微米量級且相對封閉的三維細胞培養、分選、裂解等操作單元,并把這些單元成功延伸到組織和器官。器官芯片是一種更接近仿生體系的模式,可在一塊幾平方厘米的芯片中培養各種活體細胞,形成組織器官,乃至由不同器官芯片進一步組成活體芯片,從而模擬一個活體的行為并研究活體中整體和局部的種種關系。在藥學領域,器官芯片將被部分替代小白鼠等模型動物,用于驗證候選藥物,開展毒理和藥理作用研究。
      微流控芯片刻蝕過程相關注意事項:
      光刻板制好后就可以進行常規的光刻刻蝕工藝了,一般做微流控芯片的刻蝕深度都比較深,有時候可能需要先做一層硬掩模,厚度與刻蝕深度相關??涛g的時候一般選擇等離子體刻蝕進行加工,對于不同的材料選擇不同的氣源。等離子體刻蝕是一種以化學反應為主的干法刻蝕工藝,刻蝕氣體分子在高頻電場作用下,產生等離子體。等離子體中的游離基化學性質十分活潑,利用它和被刻蝕材料之間的化學反應,達到刻蝕芯片的目的。
     

    微流控芯片

     

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